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    工程案例 >>超纯水系统 -多晶硅用水
处置赏罚 规模:25m3/h
处置赏罚 流程:多介质-超滤-两级反浸透 -水箱-185μUV-膜脱气-EDI-抛光阴 床-氮封水箱-254μUV-二级抛光混床
               -0.2μ微滤-终端0.05微滤-用水回路
产水质量 :切合ASTM D5127-2007 E1.1要求
产品 用处 :电子级多晶硅质料消费 用水
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